Diaphragms simulation, fabrication, and testing of a high temperature fiber optic F-P accelerometer based on MEMS.
Opt Express
; 31(15): 25025-25041, 2023 Jul 17.
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| MEDLINE
| ID: mdl-37475316
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Asunto de la revista:
OFTALMOLOGIA
Año:
2023
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Estados Unidos