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Improvement of YX42° Cut LiTaO3 SAW Filters with Optical Proximity Effect Correction Method.
Luo, Ping; Zou, Yali; Yang, Xinyu; Li, Juntao; Huang, Xuan; Zhou, Jian; Han, Xing; Liu, Yushuai; Liu, Yuhao; Wu, Tao.
Afiliación
  • Luo P; School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 200444, China.
  • Zou Y; School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 200444, China.
  • Yang X; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Li J; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Huang X; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Zhou J; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Han X; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Liu Y; Shanghai Bawnovation Co., Ltd., Shanghai 200120, China.
  • Liu Y; School of Information Science and Technology, ShanghaiTech University, Shanghai 201210, China.
  • Wu T; Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China.
Micromachines (Basel) ; 14(1)2023 Jan 13.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-36677266
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Micromachines (Basel) Año: 2023 Tipo del documento: Article País de afiliación: China Pais de publicación: Suiza
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