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Metamaterial-Engineered Silicon Beam Splitter Fabricated with Deep UV Immersion Lithography.
Vakarin, Vladyslav; Melati, Daniele; Dinh, Thi Thuy Duong; Le Roux, Xavier; Kan, Warren Kut King; Dupré, Cécilia; Szelag, Bertrand; Monfray, Stéphane; Boeuf, Frédéric; Cheben, Pavel; Cassan, Eric; Marris-Morini, Delphine; Vivien, Laurent; Alonso-Ramos, Carlos Alberto.
Afiliación
  • Vakarin V; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Melati D; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Dinh TTD; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Le Roux X; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Kan WKK; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France.
  • Dupré C; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France.
  • Szelag B; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France.
  • Monfray S; STMicroelectronics SAS, 850 rue Jean Monnet, 38920 Crolles, France.
  • Boeuf F; STMicroelectronics SAS, 850 rue Jean Monnet, 38920 Crolles, France.
  • Cheben P; National Research Council Canada, 1200 Montreal Road, Ottawa, ON K1A 0R6, Canada.
  • Cassan E; Center for Research in Photonics, University of Ottawa, Ottawa, ON K1N 6N5, Canada.
  • Marris-Morini D; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Vivien L; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
  • Alonso-Ramos CA; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.
Nanomaterials (Basel) ; 11(11)2021 Nov 03.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-34835713
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanomaterials (Basel) Año: 2021 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia Pais de publicación: Suiza
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