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Silicon Nitride and Hydrogenated Silicon Nitride Thin Films: A Review of Fabrication Methods and Applications.
Hegedüs, Nikolett; Balázsi, Katalin; Balázsi, Csaba.
Afiliación
  • Hegedüs N; Centre for Energy Research, Institute for Technical Physics and Materials Science, 1121 Budapest, Hungary.
  • Balázsi K; Doctoral School of Materials Science and Technologies, Óbuda University, 1030 Budapest, Hungary.
  • Balázsi C; Guardian Orosháza Ltd., 5900 Orosháza, Hungary.
Materials (Basel) ; 14(19)2021 Sep 28.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-34640056
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Materials (Basel) Año: 2021 Tipo del documento: Article País de afiliación: Hungria Pais de publicación: Suiza
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