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Chemical force microscopy for hot-embossing lithography release layer characterization.
Cameron, Neil S; Ott, Arnaud; Roberge, Hélène; Veres, Teodor.
Afiliación
  • Cameron NS; Industrial Materials Institute: National Research Council Canada, 75 Blvd. de Mortagne, Boucherville, Québec, J4B 6Y4, Canada. neil.cameron@cnrc.gc.ca.
  • Ott A; Industrial Materials Institute: National Research Council Canada, 75 Blvd. de Mortagne, Boucherville, Québec, J4B 6Y4, Canada. neil.cameron@cnrc.gc.ca.
  • Roberge H; Industrial Materials Institute: National Research Council Canada, 75 Blvd. de Mortagne, Boucherville, Québec, J4B 6Y4, Canada. neil.cameron@cnrc.gc.ca.
  • Veres T; Industrial Materials Institute: National Research Council Canada, 75 Blvd. de Mortagne, Boucherville, Québec, J4B 6Y4, Canada. neil.cameron@cnrc.gc.ca.
Soft Matter ; 2(7): 553-557, 2006 Jun 20.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-32680233
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Soft Matter Año: 2006 Tipo del documento: Article País de afiliación: Canadá Pais de publicación: Reino Unido
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