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Effect of the Al2O3 Deposition Method on Parylene C: Highlights on a Nanopillar-Shaped Surface.
Njeim, Joanna; Alamarguy, David; Tu, Xiaolong; Durnez, Alan; Lafosse, Xavier; Chretien, Pascal; Madouri, Ali; Ren, Zhuoxiang; Brunel, David.
Afiliación
  • Njeim J; Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, 75252 Paris, France.
  • Alamarguy D; Université Paris-Saclay, CentraleSupélec, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, 91192 Gif-sur-Yvette, France.
  • Tu X; Sorbonne Université, PSL Université, Ecole Normale Supérieure, PASTEUR, Département de Chimie, CNRS, 75005 Paris, France.
  • Durnez A; Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, 91120 Palaiseau, France.
  • Lafosse X; Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, 91120 Palaiseau, France.
  • Chretien P; Université Paris-Saclay, CentraleSupélec, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, 91192 Gif-sur-Yvette, France.
  • Madouri A; Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, 91120 Palaiseau, France.
  • Ren Z; Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, 75252 Paris, France.
  • Brunel D; Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, 75252 Paris, France.
ACS Omega ; 5(26): 15828-15834, 2020 Jul 07.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-32656403
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: ACS Omega Año: 2020 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia Pais de publicación: Estados Unidos
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