Micro-Fabricated Presure Sensor Using 50 nm-Thick of Pd-Based Metallic Glass Freestanding Membrane.

Van Toan, Nguyen; Tuoi, Truong Thi Kim; Tsai, Yao-Chuan; Lin, Yu-Ching; Ono, Takahito

Van Toan, Nguyen; Tuoi, Truong Thi Kim; Tsai, Yao-Chuan; Lin, Yu-Ching; Ono, Takahito.

Afiliación

Van Toan N; Microsystem Integration Center (µSIC), Tohoku University, Sendai, Japan. nvtoan@nme.mech.tohoku.ac.jp.
Tuoi TTK; Department of Mechanical Systems Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan.
Tsai YC; Department of Bio-industrial Mechatronics Engineering, National Chung Hsing University, Taichung, Taiwan.
Lin YC; Goertek Technology Japan Co., Ltd., Tokyo, Japan.
Ono T; Microsystem Integration Center (µSIC), Tohoku University, Sendai, Japan. ono@nme.mech.tohoku.ac.jp.

Sci Rep ; 10(1): 10108, 2020 Jun 22.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-32572097

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Sci Rep Año: 2020 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón Pais de publicación: Reino Unido

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