Optical Sensors for Multi-Axis Angle and Displacement Measurement Using Grating Reflectors.

Shimizu, Yuki; Matsukuma, Hiraku; Gao, Wei

Shimizu, Yuki; Matsukuma, Hiraku; Gao, Wei.

Afiliación

Shimizu Y; Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.
Matsukuma H; Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.
Gao W; Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.

Sensors (Basel) ; 19(23)2019 Dec 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-31805630

Palabras clave

dimensional metrology; interference lithography; multi-axis angle and displacement measurement; optical sensor; planar encoder; planar scale grating

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Sensors (Basel) Año: 2019 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón Pais de publicación: Suiza

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