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Piezoelectric MEMS Resonators for Cigarette Particle Detection.
Toledo, Javier; Ruiz-Díez, Víctor; Bertke, Maik; Suryo Wasisto, Hutomo; Peiner, Erwin; Sánchez-Rojas, José Luis.
Afiliación
  • Toledo J; Microsystems, Actuators and Sensors Group, Universidad de Castilla-La Mancha, 13071 Ciudad Real, Spain. javier.toledo.serrano@gmail.com.
  • Ruiz-Díez V; Microsystems, Actuators and Sensors Group, Universidad de Castilla-La Mancha, 13071 Ciudad Real, Spain. victor.ruiz@uclm.es.
  • Bertke M; Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig, Germany and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Langer Kamp 6a, 38106 Braunschweig, Germany. m.bertke@tu-braunschweig.de.
  • Suryo Wasisto H; Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig, Germany and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Langer Kamp 6a, 38106 Braunschweig, Germany. h.wasisto@tu-braunschweig.de.
  • Peiner E; Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig, Germany and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Langer Kamp 6a, 38106 Braunschweig, Germany. e.peiner@tu-braunschweig.de.
  • Sánchez-Rojas JL; Microsystems, Actuators and Sensors Group, Universidad de Castilla-La Mancha, 13071 Ciudad Real, Spain. joseluis.saldavero@uclm.es.
Micromachines (Basel) ; 10(2)2019 Feb 21.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30795635
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Micromachines (Basel) Año: 2019 Tipo del documento: Article País de afiliación: España Pais de publicación: Suiza
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