Atomic force microscopy capable of vibration isolation with low-stiffness Z-axis actuation. | Ultramicroscopy;186: 9-17, 2018 03. | MEDLINE

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Atomic force microscopy capable of vibration isolation with low-stiffness Z-axis actuation.

Ito, Shingo; Schitter, Georg.

Afiliación

Ito S; Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstrasse, Vienna 27-29, 1040, Austria. Electronic address: ito@acin.tuwien.ac.at.
Schitter G; Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstrasse, Vienna 27-29, 1040, Austria.

Ultramicroscopy ; 186: 9-17, 2018 03.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-29245032

Palabras clave

Atomic force microscopy; Robust control; Vibration isolation; Voice coil actuators

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Ultramicroscopy Año: 2018 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Países Bajos

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