Deep reactive ion etched anti-reflection coatings for sub-millimeter silicon optics.

Gallardo, Patricio A; Koopman, Brian J; Cothard, Nicholas F; Bruno, Sarah Marie M; Cortes-Medellin, German; Marchetti, Galen; Miller, Kevin H; Mockler, Brenna; Niemack, Michael D; Stacey, Gordon; Wollack, Edward J

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Deep reactive ion etched anti-reflection coatings for sub-millimeter silicon optics.

Gallardo, Patricio A; Koopman, Brian J; Cothard, Nicholas F; Bruno, Sarah Marie M; Cortes-Medellin, German; Marchetti, Galen; Miller, Kevin H; Mockler, Brenna; Niemack, Michael D; Stacey, Gordon; Wollack, Edward J.

Appl Opt ; 56(10): 2796-2803, 2017 Apr 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-28375244

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2017 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos