Improvement of the gas cluster ion beam-(GCIB)-based molecular secondary ion mass spectroscopy (SIMS) depth profile with O2(+) cosputtering. | Analyst;141(8): 2523-33, 2016 Apr 21. | MEDLINE

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Improvement of the gas cluster ion beam-(GCIB)-based molecular secondary ion mass spectroscopy (SIMS) depth profile with O2(+) cosputtering.

Chu, Yi-Hsuan; Liao, Hua-Yang; Lin, Kang-Yi; Chang, Hsun-Yun; Kao, Wei-Lun; Kuo, Ding-Yuan; You, Yun-Wen; Chu, Kuo-Jui; Wu, Chen-Yi; Shyue, Jing-Jong.

Afiliación

Chu YH; Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei, Taiwan. shyue@gate.sinica.edu.tw.

Analyst ; 141(8): 2523-33, 2016 Apr 21.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-27000483

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Analyst Año: 2016 Tipo del documento: Article País de afiliación: Taiwán Pais de publicación: Reino Unido

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