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High-sensitivity linear piezoresistive transduction for nanomechanical beam resonators.
Sansa, Marc; Fernández-Regúlez, Marta; Llobet, Jordi; San Paulo, Álvaro; Pérez-Murano, Francesc.
Afiliación
  • Sansa M; Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain.
  • Fernández-Regúlez M; Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain.
  • Llobet J; Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain.
  • San Paulo Á; 1] Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain [2] Instituto de Microelectrónica de Madrid (IMM, CSIC), Isaac Newton 8 (PMT), Tres Cantos, 28768 Madrid, Spain.
  • Pérez-Murano F; Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain.
Nat Commun ; 5: 4313, 2014 Jul 07.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-25000256
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Nat Commun Asunto de la revista: BIOLOGIA / CIENCIA Año: 2014 Tipo del documento: Article País de afiliación: España Pais de publicación: Reino Unido
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