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Plasma processing for crystallization and densification of atomic layer deposition BaTiO3 thin films.
An, Jihwan; Usui, Takane; Logar, Manca; Park, Joonsuk; Thian, Dickson; Kim, Sam; Kim, Kihyun; Prinz, Fritz B.
Afiliación
  • An J; Department of Mechanical Engineering, ‡Department of Materials Science and Engineering, and §Department of Applied Physics, Stanford University , Stanford, California 94305, United States.
ACS Appl Mater Interfaces ; 6(13): 10656-60, 2014 Jul 09.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24946008
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: ACS Appl Mater Interfaces Asunto de la revista: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Año: 2014 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos Pais de publicación: Estados Unidos
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