Quantum limit of quality factor in silicon micro and nano mechanical resonators.

Ghaffari, Shirin; Chandorkar, Saurabh A; Wang, Shasha; Ng, Eldwin J; Ahn, Chae H; Hong, Vu; Yang, Yushi; Kenny, Thomas W

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Quantum limit of quality factor in silicon micro and nano mechanical resonators.

Ghaffari, Shirin; Chandorkar, Saurabh A; Wang, Shasha; Ng, Eldwin J; Ahn, Chae H; Hong, Vu; Yang, Yushi; Kenny, Thomas W.

Afiliación

Ghaffari S; Stanford University, Mechanical Engineering Department, 440 Escondido Mall, Stanford, CA 94305, USA.

Sci Rep ; 3: 3244, 2013 Nov 19.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24247809

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Sci Rep Año: 2013 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos Pais de publicación: Reino Unido