Three-dimensional deep sub-wavelength defect detection using λ = 193 nm optical microscopy.
Opt Express
; 21(22): 26219-26, 2013 Nov 04.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-24216846
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Asunto principal:
Algoritmos
/
Ensayo de Materiales
/
Reconocimiento de Normas Patrones Automatizadas
/
Interpretación de Imagen Asistida por Computador
/
Imagenología Tridimensional
/
Nanopartículas
/
Microscopía
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Asunto de la revista:
OFTALMOLOGIA
Año:
2013
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Estados Unidos