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An innovative experimental setup for the measurement of sputtering yield induced by keV energy ions.
Salou, P; Lebius, H; Benyagoub, A; Langlinay, T; Lelièvre, D; Ban-d'Etat, B.
Afiliación
  • Salou P; CIMAP (CEA-CNRS-ENSICAEN-UCBN), Boulevard Henri Becquerel, BP 5133, 14070 Caen Cedex 5, France.
Rev Sci Instrum ; 84(9): 095115, 2013 Sep.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24089874
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2013 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia Pais de publicación: Estados Unidos
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