Simulated annealing-simplex hybrid algorithm for ellipsometric data inversion of multilayer films. | Rev Sci Instrum;84(6): 063103, 2013 Jun. | MEDLINE

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Simulated annealing-simplex hybrid algorithm for ellipsometric data inversion of multilayer films.

Fan, Longfeng; Huang, Zuohua.

Afiliación

Fan L; Laboratory of Quantum Information Technology, School of Physics and Telecommunication Engineering, South China Normal University, Guangzhou 510006, China. longfengbb@163.com

Rev Sci Instrum ; 84(6): 063103, 2013 Jun.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-23822329

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2013 Tipo del documento: Article País de afiliación: China Pais de publicación: Estados Unidos

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