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[Spectrum diagnostics for the time of pre-sputtering in thin films deposited by magnetron puttering].
Guo, Qing-Lin; Fan, Qing; Cui, Yong-Liang; Dong, Kai-Hu; Zhang, Lei; Li, Xu; Zhang, Jin-Ping; Chen, Jin-Zhong.
Afiliación
  • Guo QL; Hebei University, Baoding, China. qlguo@hbu.edu.cn
Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi ; 33(3): 595-9, 2013 Mar.
Article en Zh | MEDLINE | ID: mdl-23705415
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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: Zh Revista: Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi Año: 2013 Tipo del documento: Article País de afiliación: China Pais de publicación: China
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