Micromachining of a bimorph Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) cantilever using a micro-electromechanical systems (MEMS) process for energy harvesting application. | J Nanosci Nanotechnol;12(7): 6011-5, 2012 Jul. | MEDLINE

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Micromachining of a bimorph Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) cantilever using a micro-electromechanical systems (MEMS) process for energy harvesting application.

Kim, Moonkeun; Hwang, Beomseok; Jeong, Jaehwa; Min, Nam Ki; Kwon, Kwang-Ho.

Afiliación

Kim M; Department of Control and Instrumentation Engineering, Korea University, Chungnam 339-700, Republic of Korea.

J Nanosci Nanotechnol ; 12(7): 6011-5, 2012 Jul.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22966699

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Año: 2012 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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