Macroscopic and microscopic investigation on chemical mechanical polishing of sapphire wafer. | J Nanosci Nanotechnol;12(2): 1256-9, 2012 Feb. | MEDLINE

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Macroscopic and microscopic investigation on chemical mechanical polishing of sapphire wafer.

Lee, Hyunseop; Lee, Hojun; Jeong, Hobin; Choi, Sungha; Lee, Youngkyun; Jeong, Moonki; Jeong, Haedo.

Afiliación

Lee H; Graduate School of Mechanical Engineering, Pusan National University, San 30 Changjeon-dong Kumjeong-ku, Busan 609-735, Republic of Korea.

J Nanosci Nanotechnol ; 12(2): 1256-9, 2012 Feb.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22629933

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Año: 2012 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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