Study on the micro-heater geometry in In,2O3 micro electro mechanical systems gas sensor platforms and effects on NO2 gas detecting performances.

Choi, Woo-Seok; Kim, Bum-Joon; Lee, Hoi-Jung; Choi, Jung-Woon; Kim, Si-Dong; Min, Nam-Ki

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Study on the micro-heater geometry in In,2O3 micro electro mechanical systems gas sensor platforms and effects on NO2 gas detecting performances.

Choi, Woo-Seok; Kim, Bum-Joon; Lee, Hoi-Jung; Choi, Jung-Woon; Kim, Si-Dong; Min, Nam-Ki.

Afiliación

Choi WS; Department of Bio Micro System Technology, Korea University, Seoul, 136-713, Korea.

J Nanosci Nanotechnol ; 12(2): 1170-3, 2012 Feb.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22629914

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Año: 2012 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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