Brightness enhancement of plasma ion source by utilizing anode spot for nano applications.

Park, Yeong-Shin; Lee, Yuna; Kim, Yoon-Jae; Park, Man-Jin; Moon, Dae Won; Chung, Kyoung-Jae; Hwang, Y S

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Brightness enhancement of plasma ion source by utilizing anode spot for nano applications.

Park, Yeong-Shin; Lee, Yuna; Kim, Yoon-Jae; Park, Man-Jin; Moon, Dae Won; Chung, Kyoung-Jae; Hwang, Y S.

Afiliación

Park YS; Department of Nuclear Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, South Korea.

Rev Sci Instrum ; 83(2): 02B313, 2012 Feb.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22380292

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2012 Tipo del documento: Article País de afiliación: Corea del Sur Pais de publicación: Estados Unidos