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[The influence of laser plasma effects on the characteristics of silicon surface damage].
Fan, Wei-xing; Han, Jing-hua; Li, Hai-bo; Yang, Li-ming; Feng, Guo-ying; Gao, Xiang; Liu, Yan-yan; Bao, Ling-dong; Huang, Yong-zhong.
Afiliación
  • Fan WX; College of Electronics & Information Engineering, Sichuan University, Chengdu 610064, China. fwx_hjh@163.com
Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi ; 31(12): 3185-9, 2011 Dec.
Article en Zh | MEDLINE | ID: mdl-22295756
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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: Zh Revista: Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: China Pais de publicación: China
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