Polymeric waveguides with embedded micro-mirrors formed by Metallic Hard Mold.

Dou, Xinyuan; Wang, Xiaolong; Huang, Haiyu; Lin, Xiaohui; Ding, Duo; Pan, David Z; Chen, Ray T

Dou, Xinyuan; Wang, Xiaolong; Huang, Haiyu; Lin, Xiaohui; Ding, Duo; Pan, David Z; Chen, Ray T.

Afiliación

Dou X; Department of Electrical and Computer Engineering, University of Texas at Austin, Austin, TX, 78758, USA.

Opt Express ; 18(1): 378-85, 2010 Jan 04.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-20173857

RESUMEN

In this paper, we presented fabrication of nickel based metal mold with 45 degrees tilted surfaces on both ends of the channel waveguide through electroplating process. To obtain a precise 45 degrees tilted angle, a 50microm thick SU-8 layer was UV exposed under de-ionized water, with repeatable error control of 0.5 degrees . The polymeric waveguide array with 45 degrees micro-mirrors, which is formed by a UV imprinting method with the fabricated metallic mold, shows total insertion losses around 4dB, propagation loss around 0.18dB/cm and 75% coupling efficiency.

Asunto(s)

Compuestos Epoxi/química; Lentes; Níquel/química; Dispositivos Ópticos; Polímeros/química; Refractometría/instrumentación; Transductores; Diseño Asistido por Computadora; Diseño de Equipo; Análisis de Falla de Equipo; Miniaturización; Reproducibilidad de los Resultados; Sensibilidad y Especificidad; Propiedades de Superficie

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Polímeros / Refractometría / Transductores / Compuestos Epoxi / Dispositivos Ópticos / Lentes / Níquel Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Opt Express Asunto de la revista: OFTALMOLOGIA Año: 2010 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos Pais de publicación: Estados Unidos

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