Plasma fluorination of diamond-like carbon surfaces: mechanism and application to nanoimprint lithography.
Nanotechnology
; 20(14): 145306, 2009 Apr 08.
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| ID: mdl-19420525
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Nanotechnology
Año:
2009
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Estados Unidos
Pais de publicación:
Reino Unido