Looking at trace impurities on silicon wafers with synchrotron radiation. | Anal Chem;74(23): 608A-616A, 2002 Dec 01. | MEDLINE

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Looking at trace impurities on silicon wafers with synchrotron radiation.

Baur, Katharina; Brennan, Sean; Pianetta, Piero; Opila, Robert.

Afiliación

Baur K; Stanford University, CA, USA. baur@slac.stanford.edu

Anal Chem ; 74(23): 608A-616A, 2002 Dec 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-12498179

Asunto(s)

Silicio/normas; Sincrotrones; Semiconductores/normas; Propiedades de Superficie; Transistores Electrónicos/normas; Rayos X

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Silicio / Sincrotrones Idioma: En Revista: Anal Chem Año: 2002 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos Pais de publicación: Estados Unidos

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