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1.
Ultramicroscopy ; 82(1-4): 17-21, 2000 Feb.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-10741647

RESUMEN

A surface-micromachined micro-electro-mechanical-system (MEMS) process has been used to demonstrate multiple-input chemical sensing using selectively coated cantilever arrays. Cantilever motion due to absorption-induced stress was readout using a custom-designed, eight-channel integrated circuit. Combined hydrogen and mercury vapor detection was achieved with a palm-sized, self-powered module with spread-spectrum telemetry reporting.

2.
Phys Rev Lett ; 77(7): 1330-1333, 1996 Aug 12.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-10063049
3.
Phys Rev Lett ; 75(8): 1582-1585, 1995 Aug 21.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-10060334
6.
Phys Rev B Condens Matter ; 45(13): 7584-7587, 1992 Apr 01.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-10000565
10.
11.
Phys Rev B Condens Matter ; 39(1): 767-770, 1989 Jan 01.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-9947227
13.
Phys Rev B Condens Matter ; 37(14): 8015-8021, 1988 May 15.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-9944131
14.
16.
19.
Phys Rev B Condens Matter ; 34(4): 2246-2252, 1986 Aug 15.
Artículo en Inglés | MEDLINE | ID: mdl-9939912
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